GB/T16878-1997 GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
标准编号：GB/T 16878-1997 时间：1997-06-20 大小：KB 浏览次数：50 下载次数：5| 资料名称： | GB/T16878-1997 GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1997-06-20 | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | FTP下载 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 1998-03-01（仅供参考） | ||
| 浏览次数： | 50次 |
| 标准简介： | GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 国家标准(GB) GB/T16878-1997 本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 16878-1997 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | |
| 英文名称： | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI P19-1992,IDT（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 页 数： | 平装16开， 页数：14， 字数：24千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 1997-06-20（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中国科学院缩微电子中心（仅供参考） | |
| 相关标准： | 无相关信息 | |
| 下载次数： | 5次 | |
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