JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准
标准编号：JB/T 5631-1991 时间：1991-08-27 大小：KB 浏览次数：51 下载次数：12| 资料名称： | JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 | |
| 标准类别： | 行业标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1991-08-27 | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | FTP下载 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 1992-07-01（仅供参考） | ||
| 浏览次数： | 51次 |
| 标准简介： | JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | JB/T 5631-1991 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 半导体器件外延炉 能耗标准 | |
| 英文名称： | （仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 机械电子工业部（仅供参考） | |
| 页 数： | 4页（仅供参考） | |
| 首发日期： | （仅供参考） | |
| 复审日期： | （仅供参考） | |
| 提出单位： | 机械电子工业部生产司（仅供参考） | |
| 归口单位： | 机械电子工业部机械标准化研究所（仅供参考） | |
| 主管部门： | （仅供参考） | |
| 起草单位： | 国营北京七七四厂（仅供参考） | |
| 相关标准： |
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| 下载次数： | 12次 | |
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