GB/T14142-1993 GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
标准编号：GB/T 14142-1993 时间：1993-02-06 大小：KB 浏览次数：88 下载次数：7747| 资料名称： | GB/T14142-1993 GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1993-02-06 | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | FTP下载 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 1993-10-01（仅供参考） | ||
| 浏览次数： | 88次 |
| 标准简介： | GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 国家标准(GB) GB/T14142-1993 本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法。本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm。测量范围为0~10000cm-2。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 14142-1993 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 | |
| 英文名称： | Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | NEQ ASTM F80:1985（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 页 数： | 7页（仅供参考） | |
| 首发日期： | 1993-02-06（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 峨眉半导体材料研究所（仅供参考） | |
| 相关标准： | 无相关信息 | |
| 下载次数： | 7747次 | |
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