GB/T19921-2005 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
标准编号：GB/T 19921-2005 时间：2005-09-19 大小：KB 浏览次数：124 下载次数：17| 资料名称： | GB/T19921-2005 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 2005-09-19 | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | FTP下载 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 2006-04-01（仅供参考） | ||
| 浏览次数： | 124次 |
| 标准简介： | GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 国家标准(GB) GB/T19921-2005 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 19921-2005 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | |
| 英文名称： | Test method of particles on silicon wafer surfaces（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ（仅供参考） | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 页 数： | 16开， 页数：10， 字数：16千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 2005-09-19（仅供参考） | |
| 复审日期： | （仅供参考） | |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会（仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国有色金属标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院（仅供参考） | |
| 相关标准： | 无相关信息 | |
| 下载次数： | 17次 | |
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