时间：1987-06-25 大小：KB 语言：简体中文 授权：免费下载 等级：
YS/T 209-1994 硅材料原生缺陷图谱 有色金属行业标准(YS) YS/T209-1994
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时间：1980-03-01 大小：KB 语言：简体中文 授权：免费下载 等级：
SJ 1550-1979 硅外延片检测方法 电子行业标准(SJ) SJ1550-1979 本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等
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时间：1980-03-01 大小：KB 语言：简体中文 授权：免费下载 等级：
SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) 电子行业标准(SJ) SJ1551-1979 本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度，通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线，可求得电阻率。
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