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GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片

标准编号:GB/T 14139-1993 时间:1993-02-06 大小:KB 浏览次数:96 下载次数:21
资料名称: GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 1993-02-06
授权方式: 免费下载
下载方式: FTP下载
等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 1993-10-01(仅供参考)
浏览次数: 96次
标准简介: GB/T 14139-1993 硅外延片 国家标准(GB) GB/T14139-1993 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。

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标准编号: GB/T 14139-1993 正在载入地址
标准名称: 硅外延片
英文名称: Silicon epitaxial wafers(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI S2,REF(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
页  数: 平装16开, 页数:8, 字数:11千字(仅供参考)
首发日期: 1993-02-06(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 上海第二冶炼厂(仅供参考)
相关标准:
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